越來越多的應(yīng)用需要有長焦深的加工需求,如玻璃切割,藍(lán)寶石晶圓切割,等。 將高斯光束轉(zhuǎn)換為貝塞爾光束可以極大的加大焦深,做到很高的深徑比(焦深和 聚焦直徑比值)。 目前市場上最常見是通過透射式棱錐轉(zhuǎn)換貝塞爾光。但是透射式棱錐受制于生產(chǎn) 工藝,不能將頂角尖度做的無限小,所以產(chǎn)生的貝塞爾光會有能量不均勻,熱影 響區(qū)大的問題。且批次與批次之間,透射式棱錐的質(zhì)量也是參差不齊。 我司提供的反射式棱錐避免了透射式棱錐的問題,采用離軸干涉原理,產(chǎn)生的貝 塞爾光更接近理論曲線,熱影響區(qū)更小,見圖。同時基于反射式光路設(shè)計,抗損 傷閾值高,沒有熱透鏡效應(yīng)導(dǎo)致的焦點漂移問題。如果激光脈沖是飛秒脈沖,也 不會有色散導(dǎo)致的脈寬展寬。 所有角度均提供 350-1100nm 內(nèi)任意波長或波段高反射率鍍膜。
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